高效過濾器檢漏檢測(cè)方法計(jì)數(shù)電子掃描法明確規(guī)定及實(shí)際檢測(cè)中存在的問題。

1.2.1. 《干凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ71-90)中劃定，被檢高效過濾器必須已檢驗(yàn)測(cè)定過風(fēng)量，并設(shè)計(jì)風(fēng)速80%-120%之間運(yùn)行，對(duì)于被檢高效過濾器上風(fēng)側(cè)的顆粒濃度對(duì)受控粒徑對(duì)于≥0.5μm粒子的濃度，必須≥3.5×104臺(tái)式機(jī)/L，對(duì)受控粒徑≥0.1μm的粒子濃度，必須≥3.5×106-3.5×107臺(tái)式機(jī)/L。

施用最小采樣量>1L/min的粒子計(jì)數(shù)器電子掃描法，對(duì)高效過濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行電子掃描檢驗(yàn)測(cè)定，檢驗(yàn)測(cè)定點(diǎn)應(yīng)距被測(cè)表面20-30mm，測(cè)頭以5-20mm/s的速度移動(dòng)，對(duì)被檢過濾器全般斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行電子掃描。

1.2.2.在《干凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》中劃定，由高效過濾器下風(fēng)側(cè)走漏濃度換算成的洞穿率來權(quán)衡是否合格，其合格標(biāo)準(zhǔn)如次。對(duì)于高效過濾器：

k’=1-nk=c2/c1nk’表示高效過濾器的定額透過率;表示高效過濾器的定額效率;k表示高效過濾器的實(shí)際走漏率;c1表示上風(fēng)側(cè)含塵濃度;c2表示高效過濾器下風(fēng)側(cè)含塵濃度。

規(guī)范劃定，高效過濾器的實(shí)際走漏率不得大于定額透過率的2倍，即k≤2 k’。

1.2.3.實(shí)際存在的問題高效過濾器一般都在系統(tǒng)風(fēng)量和各風(fēng)口風(fēng)量調(diào)整平衡落伍行，根據(jù)規(guī)范要求各風(fēng)口風(fēng)量與設(shè)計(jì)的風(fēng)量誤差小于15%，這滿足被檢風(fēng)口在靠近設(shè)計(jì)風(fēng)速下進(jìn)行的條件。

所以當(dāng)風(fēng)量平衡好后要及時(shí)進(jìn)行高效過濾器走漏的檢驗(yàn)測(cè)定事情。

在工程上，對(duì)于大于100級(jí)的凈化系統(tǒng)一般采用的粒子計(jì)數(shù)器的最小粒徑通道為0.3μm。

所以，被檢高效過濾器在上風(fēng)側(cè)的微粒濃度受控粒徑為≥0.5μm，其濃度必須≥3.5×104臺(tái)式機(jī)/L ，而一般大氣塵的濃度為5.3×104-2.5×105臺(tái)式機(jī)/L，這到了粒子計(jì)數(shù)器的讀數(shù)上限規(guī)模。

在很多凈化系統(tǒng)中，進(jìn)入循環(huán)空調(diào)箱的新風(fēng)顛末過濾器的處理，濃度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于大氣塵濃度，和回風(fēng)混和后的濃度會(huì)更低。因此，在安裝好的凈化空調(diào)系統(tǒng)中引入大氣，是值得慎重思慮的問題。

為了包管被檢空氣過濾器上游粒子濃度要求，而不破壞系統(tǒng)風(fēng)量的平衡，在上游引入勻稱濃度的人工氣溶膠是理想的手段。引入的氣溶膠濃度到底需要幾多，這其實(shí)跟安裝的高效過濾器的效率和粒子計(jì)數(shù)器的分辨率有關(guān)。

粒子計(jì)數(shù)器最小位是個(gè)位，最小數(shù)為零。測(cè)試儀器一般都會(huì)有死區(qū)，如果要求的下游濃度小于10顆為合格，這些數(shù)值是否有效，按照統(tǒng)計(jì)學(xué)的原理是很難包管的。

現(xiàn)在，海內(nèi)大部分以美國(guó)DOP試驗(yàn)對(duì)0.3μm粒子的過濾效率作為高效過濾器的分類。

所以采用計(jì)數(shù)電子掃描法檢漏時(shí)，被測(cè)粒徑應(yīng)≥0.3μm，這對(duì)上游濃度的要求更好。

按高效過濾器的效率99.97%，下游濃度包管三個(gè)有效數(shù)碼之內(nèi)，則要求上游空氣中粒徑≥0.3μm的微粒濃度至少約為6×104臺(tái)式機(jī)/L。

如果采用效率99.99%效率的高效過濾器，上游≥0.3μm的微粒濃度約為2×105臺(tái)式機(jī)/L，這時(shí)上游≥0.5μm的粒子濃度，遠(yuǎn)遠(yuǎn)≥3.5×104臺(tái)式機(jī)/L。所以，采用大氣作為塵源已經(jīng)不能滿足測(cè)試要求。

1.2.4.大流量的粒子計(jì)數(shù)器更適合用來檢驗(yàn)測(cè)定高效過濾器的安裝走漏，空氣采樣量越大，測(cè)試結(jié)果就越具備代表性，精確度也就越高。

規(guī)范要求的采樣量是1l/min，而我們多施用的采樣量是0.1cfm(2.83l/min)，以此滿足測(cè)試儀器的要求，但如許會(huì)影響到檢漏的事情效率。

以610×610高效過濾器為例，施用移動(dòng)采樣頭在高效過濾器下側(cè)采樣時(shí)，采樣速度20mm/s,長(zhǎng)方形100×11.33采樣器至少需要244秒;圓形采樣器的采樣速度更慢，檢漏電子掃描所用的時(shí)間更長(zhǎng)。而ISO14644-3《metrology and test methods》計(jì)較電子掃描速度和可接管測(cè)候計(jì)數(shù)法的計(jì)較法則對(duì)一般工程技術(shù)職員來說又比力難掌握，所以，今后國(guó)家在制定這方面的規(guī)范時(shí)，對(duì)不同級(jí)別的高效過濾器，提議采用合適的采樣速度和可接管測(cè)候計(jì)數(shù)，方便工程測(cè)試職員實(shí)際操作。

1.2.5.DOP粒子電子掃描正壓檢漏法檢驗(yàn)測(cè)定職員必須注重規(guī)范中要求的采樣時(shí)間、上游粒子濃度等參量在實(shí)際應(yīng)用中的可操作性。在參與某一制藥廠凈化車間高效過濾器的檢漏時(shí)，聯(lián)合日本JIS-b-9927、美國(guó)Fedstd-209d標(biāo)準(zhǔn)，采用laskin DOP粒子發(fā)生器孕育發(fā)生大量穩(wěn)定的切合要求的微粒子，以造成上游≥0.3μm粒子濃度大于或等于1×105臺(tái)式機(jī)/L。

在過濾器上游通過壓縮空氣(冷發(fā)生)將DOP微粒勻稱噴射在系統(tǒng)內(nèi)，因?yàn)闈舛纫话愦笥?×105臺(tái)式機(jī)/L，超出檢驗(yàn)測(cè)定儀器測(cè)量規(guī)模，所以在檢驗(yàn)測(cè)定儀器前串聯(lián)粒子濃度稀釋器，使被測(cè)濃度在檢驗(yàn)測(cè)定儀器測(cè)量規(guī)模。

對(duì)出廠效率為99.97%的高效過濾器檢漏時(shí)，實(shí)測(cè)所得透過率應(yīng)低于0.06%，即實(shí)測(cè)所得顆粒濃度小于0.06%C1(C1為上游濃度)。

粒子發(fā)生器在過濾器上游所拍發(fā)的粒子濃度≥0.3μm時(shí)為3.3×106臺(tái)式機(jī)/2.83l，對(duì)于不同風(fēng)量系統(tǒng)，換算成下游極限濃度，如某一設(shè)計(jì)風(fēng)量為15000m3/h凈化空調(diào)系統(tǒng)下游極限濃度1960臺(tái)式機(jī)/2.83l。

待粒子發(fā)生器所發(fā)生氣溶膠濃度穩(wěn)定后，用粒子計(jì)數(shù)器對(duì)安裝好的高效過濾器進(jìn)行檢漏試驗(yàn)。

粒子計(jì)數(shù)器必須同時(shí)對(duì)高效過濾器外框和內(nèi)表面分別進(jìn)行兩次電子掃描，過濾器上游也必須對(duì)風(fēng)管中的氣溶膠濃度進(jìn)行兩次采樣測(cè)試，采樣和掃面的周期必須相等，起止時(shí)間盡量要一致。

以規(guī)格為610×610高效過濾器為例，提議采用采樣周期為一分鐘，速度為50mm/s。

檢漏前用高約500mm的圍擋放在高效過濾器的四周，可以防止高效過濾器外框之外的氣流形成渦流，影響電子掃描測(cè)試的結(jié)果。

過濾器的走漏主要原因是外框密封圈的密封效果不好，或者濾料不敷平整嚴(yán)密。

實(shí)際應(yīng)用中安裝走漏主要來自于外框，外框密封條的質(zhì)量與走漏有很大關(guān)系。

因此，工程上檢漏時(shí)會(huì)在高效過濾器得四周加放圍擋，減小風(fēng)口圍擋下部出口面積時(shí)，圍擋內(nèi)形成一定正壓，如果高效過濾器安裝走漏，粒子會(huì)通過圍擋往外走漏。

這時(shí)粒子計(jì)數(shù)器可按50mm/s左右的速度在高效過濾器下25mm處電子掃描1分鐘，即可判斷過濾器是否走漏，這就是“正壓檢漏法”。

對(duì)于具備大量的高效過濾器風(fēng)口的凈化車間來說，高效正壓檢漏法的測(cè)試效果與傳統(tǒng)的內(nèi)外框電子掃描法相當(dāng)，但效率提高了一倍。以1個(gè)有60個(gè)610×610mm高效過濾器風(fēng)口的凈化空調(diào)系統(tǒng)為例，采用傳統(tǒng)的要領(lǐng)電子掃描至少一般要兩個(gè)小時(shí)，而采用正壓檢漏法最快只要1個(gè)小時(shí)，節(jié)流了一半以上的時(shí)間。

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